マテリアル・ナノテクノロジー・フロンティア(2016年度)大門担当分の資料です。

本講義は浅野種正先生(九州大学大学院システム情報科学研究院電子デバイス工学部門)が九州工業大学に在職中に作成されたものです。本講義は、本学の孫先生が本教材を活用して、e-ラーニングを実施するものです。

LSI技術の全体像を掴むことを目的とする。半導体の性質、トランジスタの構造と動作、LSIの製造プロセス技術の物理とレイアウトとの関係を、先端デバイス技術も含めて解説する。 電子回路におけるトランジスタの役割半導体の性質 MOSFETの動作原理 MOSFETの動作の実際 CMOSの動作とレイアウト LSIプロセス要素技術(フォトリソグラフィー、成膜) LSIプロセス要素技術(ドーピング、微細加工) LSI先端デバイス技術の成り立ち